クリーンルームとは、ミクロン単位の特殊フィルターを複数レイヤー使用して、空気中の粉塵・埃・細菌を除去、減少させ、温度・湿度を調整した部屋のことです。

清浄度の単位を「クラス」と言い、粒子径0.5μm(ミクロン)以上の粒子が、空気1ft3(立方フィート)中にいくつあるのかを示した度合いです。クラス100とはこの粒子数が1ft3あたり100個以下であり、外科手術室並の空気清浄度といえます。